超純水：既將水中的導電介質幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水。電阻率大于18MΩ*cm，或接近18.3MΩ*cm極限值。
　　超純水,是一般工藝很難達到的程度，采用預處理、反滲透技術、超純化處理以及后級處理四大步驟，多級過濾、高性能離子交換單元、超濾過濾器、紫外燈、除TOC裝置等多種處理方法，電阻率方可達18.25MΩ*cm
 
   超純水，目前的主要工藝流程
　　1.預處理----復床 ----混床---拋光樹脂
　　2.預處理----反滲透---混床---拋光樹脂
　　3.預處理----反滲透----CEDI膜塊----拋光樹脂
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　　中國國家實驗室分析用水標準（GB6682-92）《分析實驗室用水規格和實驗方法》：
　　指標名稱 一級水 二級水 三級水
　　1級水>10MΩ；2級水>1MΩ；3級水>0.2MΩ
　　PH值范圍（25℃） - - - - 5.0-7.5
　　比電阻MΩ.cm@25℃> 10 1 0.2
　　電導率（25℃）us/cm≤ 0.1 1 5
　　可氧化物[以O計]mg/L -- 0.08 0.40
　　吸光度（254nm,1cm光程）≤ 0.001 0.01 --
　　二氧化硅（mg/L） 0.02 0.05 --
　　蒸發殘渣（mg/L） -- 1.0 2.0
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涉及域及應用行業
  電力行業用水 熱力、火力發電鍋爐廠礦企業，中、底壓鍋爐動力、給水系統。
化工行業用水 化工反應冷卻、化學藥劑、化肥及精細化工、化妝品制造過程用水系統。
  工業產品涂裝用水 汽車、家用電器、建材產品表面涂裝、清洗、鍍膜玻璃及蓄電池用水系統。
  飲料行業用水 飲用純凈水、天然水、飲料、低度酒勾兌用水、純生啤酒過濾等。
  醫用制藥行業用水 醫用大輸液、注劑、藥劑、生化制品用水、醫用無菌水、人工腎析用水及血液透析用水。
公共水處理系統 海水苦咸水淡化、學校、社區、賓館、房產物業優質供水網絡系統。

工藝流程圖：